| 강조하다: | 산업 세라믹 척,산업용 세라믹 척,고성능 세라믹 척 |
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산업용 세라믹 척
반도체 분야에서 웨이퍼 얇게 만들기 및 절단은 수년간의 개발을 거쳐 비교적 성숙해졌으며, 웨이퍼 얇게 만들기 장비 또한 점점 더 정교해지고 있습니다. 세라믹 척은 웨이퍼 가공 시 로딩 고정구로 사용됩니다. 세라믹 척의 흡착 영역은 공기와 물에 투과성이 있는 미세 다공성 세라믹으로 만들어지며, 세라믹 척의 외부 링은 진공을 유지하기 위해 밀도가 높고 투과성이 없는 알루미나 세라믹으로 밀봉되어 우수한 하중 지지 및 흡착 능력을 제공합니다.
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품질 관리:
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