맞춤형 가스 원자화 보롱나이트라이드 세라믹 부품

가스 원자화 보롱나이트라이드 세라믹 부품

보론 나이트라이드는 육각형 체계에 속한다. 그 구조는 그래피트와 유사하며 그 성질도 비슷하다. 따라서 "백색 그래피트"라고도 불린다. 그것은 좋은 열 저항을 가지고 있다.,열 안정성, 열 전도성, 높은 온도 다이 일렉트릭 강도, 그리고 이상적인 열 방출 물질과 높은 온도 단열 물질입니다.모스 단단성 2는 다양한 모양의 부분으로 처리 될 수 있습니다..

주요 응용 프로그램:

• 반도체 장비의 부품
  판, 웨이퍼, 링, 가스 분배판, 노즐
  상단 노즐 또는 바플, 피데스텔 히터, 커버 플레이트
  RF 창문, 크루시블
• 기판
• 열에 저항하는 기본 재료

주요 특징 및 사양:

• 고온 압축 기술을 사용합니다.
• 직경 650mm까지
• 매우 낮은 포러스성
• 높은 열전도성
• 화학물질에 강한
• 직선 sintered 순형 sintering을 허용하기 위해
   

재료 특성:

제조 과정:

품질 관리:

핵심 기술: