순수한 BN99 보론 질소 고리 열 압축 알루미늄 질소 판

순수한 BN99 보론 질소 고리 열 압축 알루미늄 질소 판

우리는 고온 압축 보롱 나이트라이드 링에 대한 표준 제품과 맞춤형 제품을 제공합니다. 순수한 BN99 링을 제외하고, 우리는 또한 실리콘 탄화물, 칼슘 보레이트,알루미늄 나이트라이드와 지르코니아우리의 순수 BN99 및 지르코니아 복합 재료 ZSBN에 대한 붕산 나트라이드 사양을 확인.

재료 특성:

주요 응용 프로그램:

• 반도체 장비의 부품

• 판, 웨이퍼, 링, 가스 분배판, 노즐
• 상단 노즐 또는 바플, 피데스텔 히터, 커버 플레이트
• RF 창문, 크루시블

• 기판
• 열에 저항하는 기본 재료

주요 특징 및 사양

• 고온 압축 기술을 사용합니다.
• 직경 650mm까지
• 매우 낮은 포러스성
• 높은 열전도성
• 화학물질에 강한
• 직선 sintered 순형 sintering을 허용하기 위해

제조 과정:

품질 관리: