제품 상세 정보:
|
애플리케이션: | 펄스 레이저 증착(PLD) 시스템 및 DC 또는 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템 | 지름: | Ø 1" / Ø 2" / Ø 3" / Ø 4"/ Ø 6" / Ø 8" |
---|---|---|---|
두께: | 3-6mm | 등급: | SAW 등급 및 광학 등급 |
강조하다: | PLD 시스템 스퍼터링 타겟,RF 마그네트론 스퍼터링 스퍼터링 타겟,펄스 레이저 증착 스퍼터링 타겟 |
펄스 레이저 증착(PLD) 시스템 및 DC 또는 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템용 스퍼터 타겟
우리는 금속, 합금, 희토류, 단결정, 화합물 및 산화물, 질화물, 탄화물, 붕화물, 황화물, 셀렌화물 및 텔루라이드 스퍼터 타겟과 같은 다양한 세라믹 타겟을 포함한 광범위한 스퍼터 타겟을 제공합니다. 우리는 완벽한 라인을 제공합니다. 펄스 레이저 증착(PLD) 시스템 및 DC 또는 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템에 적합한 스퍼터링 타겟 재료, 이러한 타겟은 원형, 직사각형, S-Gun, Delta 및 Ring을 포함한 모든 스퍼터링 시스템에 맞게 제작할 수 있습니다.스퍼터 타겟은 스퍼터링 시스템 및 타겟 재료에 백 플레이트가 있거나 백 플레이트가 없는 원형 또는 정사각형 모양으로 제작할 수 있습니다. 표준 크기는 직경 1"~12", 두께 범위 1mm, 3mm~ 6 mm , 단일 또는 다중 부품 구성 .또한, 치수, 두께, 순도, 밀도, 균일한 입자 크기, 조성 비율 및 다양한 백 플레이트를 포함하여 귀하의 고유한 요구에 맞게 설계된 맞춤형 사양을 제공할 수 있습니다.우리는 다양한 스퍼터 타겟을 보유하고 있으며 좋은 품질로 귀하의 사양에 맞게 가공할 수 있습니다.자세한 내용은 당사에 문의하십시오.
제조 방법 | 신청분야 |
---|---|
진공 핫 프레스 | 반도체 |
열간 등압 프레스 | 데이터 저장고 |
냉간 등방압 프레싱 | 광전자공학 |
진공 소결 | 평판 디스플레이 |
진공 아크 용융 | 태양 전지 |
청정 | 99.9% / 99.99% / 99.999% |
---|---|
지름 | Ø 1" / Ø 2" / Ø 3" / Ø 4"/ Ø 6" / Ø 8" |
두께 | 3mm ~ 6mm |
뒷판 | OFHC 구리 |
본딩 | 인듐 / Ag 에폭시 |
패키지 | 진공 밀봉 |
1. 붕소화물 스퍼터 타겟
CrB, FeB, HfB2, LaB6, MgB2, Mo2B5, NbB, SmB6, TaB, TiB2, WB, VB, VB2, ZrB2
2. 카바이드 스퍼터 타겟
B4C, Cr3C2, HfC, Mo2C, NbC, SiC, TaC, TiC, TiCN, VC, WC, VC, ZrC
3. 불소 스퍼터 타겟
BaF2, CaF2, CeF3, FeF2, KF, LaF3, PbF2, MgF2, NaF
4. 질화물 스퍼터 타겟
AlN, BN, CrN, GaN, HfN, InN, NbN, NbCrN, Si3N4, TaN, TiN, VN, ZnN, ZrN, ZrCN
5. 산화물 스퍼터 타겟
Al2O3, ATO, AZO, BaTiO3, BSCCO, BST, CeO2, CuO, Cr2O3, Fe2O3, HfO2, In2O3, ITO, IZO, IZGO, IZTO, LaAl2O3, LaSrMnO3, LiNbO3, MgO, MoO2, NiO3, POTi, Sb2O3, SiO, SiO2, SnO2, SrRuO3, SrTiO3, Ta2O5, TiO2, SnO2, V2O5, WO3, Y2O3, Yb2O3, YBCO, YSZ, ZnO, ZAO, ZGO, ZIO, ZTO
6. 셀레나이드 스퍼터 타겟
Al2Se3, Bi2Se3, CdSe, CuSe, Cu2Se, FeSe2, GeSe, In2Se3, MoSe2, MnSe, NbSe2, PbSe, Sb2Se3, SnSe, TaSe2, WSe2, ZnSe
7. 실리사이드 스퍼터 타겟
CoSi2, CrSi2, FeSi2, HfSi2, MoSi2, NbSi2, NiSi2, TaSi2, TiSi2, WSi2, VSi2, ZrSi2
8. 황화물 스퍼터 타겟
CdS, CuS, Cu2S, FeS2, GaS, GeS, In2S3, PbS, MoS2, NiS, TiS2, Sb2S3, SnS, WS2, ZnS
9. 텔루라이드 스퍼터 타겟
Al2Te3, Bi2Te3, CdTe, CuTe, GaTe, Ga2Te3, GeTe, PbTe, MnTe, MoTe2, NbTe2, TaTe2, SbTe, SnTe, WTe2, ZnTe
담당자: Daniel
전화 번호: 18003718225
팩스: 86-0371-6572-0196