|
제품 상세 정보:
|
| 애플리케이션: | 미세 화학적 산업, 제약업계, 환경 보호 공학 | 차원: | 관군 블록의 최대 지름은 200 밀리미터에 도달할 수 있고 높이가 500 밀리미터일 수 있습니다. |
|---|---|---|---|
| 재료: | 탄화규소 | 색: | 검정색 |
| 상품 이름: | 탄화규소 관군 블록 | ||
| 강조하다: | 자성을 띄지 않은 탄화규소 성분,자성을 띄지 않은 산업적 세라믹 부분,탄화규소를 소결시키는 고온 |
||
고정밀 탄화규소 부품
반도체 공정 및 광학기기 장비
실리콘 카바이드 로봇c 암은 등압 압착 공정과 고온 소결에 의해 형성됩니다.사용자의 설계 도면의 요구 사항에 따라 사용자의 특정 요구 사항을 충족하도록 크기, 두께 및 모양을 완성할 수 있습니다.
실리콘 카바이드 진공 척은 등압 압축 공정과 고온 소결에 의해 형성됩니다.사용자의 설계 도면의 요구 사항에 따라 사용자의 특정 요구 사항을 충족하도록 크기, 두께 및 모양을 완성할 수 있습니다.
일반적인 애플리케이션
반도체 제조에서는 진공 발생기에 연결된 탄화규소 진공 흡착기에 극도로 얇은 웨이퍼를 놓고 진공 흡착으로 웨이퍼를 고정합니다.
리소그래피, 에칭, 레이저 가공, 웨이퍼 테스트 및 기타 공정에 사용됩니다.
기능 및 장점
정확한 크기 및 열 안정성
우수한 열전도율, 낮은 팽창 계수 및 온도 균일성
매우 높은 내마모성 및 표면 조도, 미세한 기공 크기 및 균일한 분포, 웨이퍼의 모든 영역에 균일하게 흡착 가능
우수한 산 및 알칼리 내식성
플라즈마 충격 저항
명세서
고객 도면 처리에 따라 사용자 정의할 수 있습니다.
담당자: Daniel
전화 번호: 18003718225
팩스: 86-0371-6572-0196
