탄화규소 CMP 트레이

• LED 칩 제작 즉, 금속 화학 폴리싱 처리에서 CMP (화학 기계적 연마).

• 좋은 열전도율, 낮은 팽창 계수와 온도 균일성.
• 전통적 강옥 트레이와 비교해서, 로딩과 언로딩 냉난방과 냉각 시간은 줄어들고 일 효율이 향상됩니다. 동시에, 그것은 상위이고 하부 기판 사이에 웨어를 감소시키고, 좋은 평면 정밀도를 유지하고 약 40%까지 서비스 수명을 연장할 수 있습니다.
• 약 20%까지 힘든 취급에 의해 초래된 충돌 파손의 더 리스크를 즐이면서, 물질은 반송 트레이를 이동하기 위해 운영자들을 위해 그것을 더 쉬워지게 만들면서, 작은 비중과 경량을 가지고 있습니다.

• 다음 고객 그림, 최대 크기에따르면 처리될 수 있습니다 지름, 평탄성에서 500 밀리미터 : 0.003 밀리미터 안에.

탄화규소 CMP 트레이