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제품 상세 정보:
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| 벌크 밀도: | (소성), Mg/m3:3.1 | 색 :: | 백색 |
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| 다공성(겉보기), % 공칭:: | 22 | 휨강도: | (ASTM C1161, 3점), MPa: 170 |
| 열 확장 계수: | 200-500C, 10-6/C 7.9 200-1000C, 10-6/C 9.0 | 숨구멍 크기: | 0.3 ~ 50um |
| 강조하다: | 마이크로 다공성 알루미나 세라믹,나노 다공성 알루미나 세라믹,다공성 세라믹 진공 척 테이블 |
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마이크로 다공성 알루미나 세라믹, 나노 다공성 세라믹, 다공성 세라믹 진공 척 테이블
재료:
알루미나 세라믹, 실리콘 카바이드 세라믹
제품 카테고리:
다공성 세라믹
다공성 세라믹 자체는 세라믹 소결 기술에 의해 수많은 기공을 가지고 있어 진공척에 사용됩니다.반도체, 패널, 레이저 공정 및 비접촉 선형 슬라이드에 널리 사용되는 공중 부상 플랫폼 역할을 할 수 있습니다.
양압 및 음압 가스를 적용하여 공작물을 흡수하거나 뜨십시오. 공작물에는 웨이퍼, 유리, PET 필름 또는 기타 얇은 물체가 포함됩니다.
신청 원리:
음의 진공 압력의 공기 흐름은 세라믹에 들어가도록 설정되어 공작물을 흡착할 수 있습니다.
양의 진공 압력이 있는 공기 흐름은 세라믹 밖으로 나가도록 설정되어 있으며 부품이 팽창하거나 세라믹과 접촉하지 않을 수 있습니다.
재료:
- 다공성 세라믹은 알루미나와 탄화 규소로 만들어지며 색상에는 흰색, 밝은 갈색, 암갈색, 청회색이 있습니다.
-6″, 8″, 12″ 일반 크기는 원형, 정사각형, 타원형 또는 불규칙한 모양과 크기로 제공됩니다.
- 기공 크기에는 15um, 30um, 40um, 50um, 100um이 있습니다.
- 사용자 정의 크기는 우리에게 사용할 수 있습니다.
특성은 다음과 같습니다.
높은 평탄도 및 평행도
고강도의 조밀하고 균일한 미세구조
우수한 투과성 및 균일한 흡착 친화성
긴 수명
간편하게 옷입기
다양한 유형의 진공 척 테이블:
씨닝 척
다이싱 척
척 청소
운송 척
척 인쇄
사용자 정의 가능
서비스
Disco, ADT, K&S, Applied materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point 등 다이싱 쏘 및 그라인더를 위한 신규 및 리퍼브 다공성 세라믹 척.
특성 차트
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제품 번호 |
밀도 g/cm3 |
탄성 계수 GPa |
굽힘 강도 MPa |
열팽창 계수 ×10-6/K |
열전도 계수?W/m·K |
전기 저항?Ω·cm |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 알루미나 | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 7.3 | 30 | 30 |
| 알루미나 다공성 | - | 2.5 | 55 | 50 | 7.4 | - | 30 |
| 탄화규소 | 표준품 | 3.1 | 410 | 500 | 4.6 | 170 | 170 |
| 탄화규소 다공성 | - | 2.1 | 55 | 50 | 4.7 | - | 26 |
담당자: Daniel
전화 번호: 18003718225
팩스: 86-0371-6572-0196
